반도체공정 – FEOL and BEOL

  • #160020
    반도체 128.***.110.216 18028

    반도체회사에서 FEOL과 BEOL이 있는 것으로 알고 있습니다.
    특히 BEOL분야에서의 기술적인 이슈나 직업적인 전망에 대한 조언을 구하고자 합니다.
    Metallization위주로만 연구되는 분야인지…
    무식한 저를 용서하시길 바라며…
    선배님들의 조언 부탁드립니다.

    • 분야가 넓어요 216.***.65.10

      Backend processing으로 한정하셨다고 해도 분야가 너무 넓습니다. 조언을 받으시기에는…

      왜 조언을 구하시는지, 그리고 그중에서도 어디로 가시려고 하는 건지 정도는 알려주셔야 답들이 있지 않을까 싶습니다.

    • Ray 209.***.124.98

      양산 기준 60nm 시절까지 DRAM회사 공정분야에서 근무했던 경험으로 말씀드립니다.

      제 old company에서는 BEOL, FEOL을 두부자르듯이 구분하지는 않았습니다.

      그러나, metalization을 포함한 이후의 공정을 BEOL로 통칭했습니다.

      BEOL에도 여러 공정 분야가 있겠지만 etch, gap fill, CMP, Plating (Cu) 등이 주요 공정들로 보입니다.

      제 친구의 경우, metal dry etch를 하는데 장비트러블이나 공정 문제들( ex) metal bridge..)로 월말이나 분기말이 되면 무척 시달립니다.

      Litho의 경우, 메탈 cd가 상대적으로 FEOL의 그 것들에 비해 널널하므로 제외했습니다.

      전망이라고 하면 BEOL의 경우, 생산계획을 달성하기 위해 항상 바쁘니까 job security가 좋다고 해야 할까요?

      또한, 미국에는 dram같은 메모리(메탈라인이 많아야 두 세개)를 만드는 fab이 거의 없으므로 metal layer가 무척 많은 제품을 만드니까 수요도 많다고 봐야할 것 같습니다.

      물론, FEOL은 바쁘지 않다는 얘기가 아니고 상대적으로 그렇다는 얘기입니다.

      동종분야에 근무하는 다른 분들의 의견도 듣고 싶네요.